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用氮吸附法测定比表面，关键是得到单层饱和吸附量，但绝大多数材料的吸附特性不是单层吸附，而是所谓多层吸附， BRUMAUER-EMMETT-TELLER三人在1938年提出了多分子层吸附理论，通过对气体吸附过程的热力学与动力学分析，推出了著名的氮吸附量随氮气分压（P/Po）而变的BET方程：
P/V（Po-P）=1/VmC+[（C-1)/VmC](P/Po)
分析指出，（P/Po）在0.05-0.35范围中，BET方程是一个线性方程，该直线的斜率与截距之和的倒数正好就是单层饱和吸附量，于是在此范围中，选择3-5个压力点，测出每个压力点的吸附量，然后按照BET方程作图，即可求得单层饱和吸附量，进而计算出比表面（如下图）。通过BET方程求出比表面成为国际通用的方法，也称为 “BET比表面”。BET比表面是外表面积与所有通孔内表面积的总和。把BET方程改变形式如下：
V/Vm =[ P/(Po-P)]/{(1/C)+[(C-1)/C](P/Po)}
V/Vm 就是吸附层数。它取决于C与P/Po，同一种材料，在不同的压力下，吸附层数不同，不同的材料，在相同的压力下，吸附层数不同。
近些年发现，对于微孔材料，由于在很低的压力下便完成了单层吸附，因此BET比表面测试时，其压力点的选择也影响低压方向移动，换句话说，BET方程的线性范围向低压方向移动。对X分子筛，孔径极小，线性范围应取在0.005～0.01；微孔材料P/Po线性范围应取0.005～0.1；介、微孔复合材料 P/Po 应取0.01 ～0.2；只有介孔材料P/Po线性范围取0.05 ～0.35；对于微孔材料，更接近于单层吸附的特征， Langmuier比表面值应具有较大的参考意义。三参数方程也可应用于上述场合 。
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