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静态常见问题

真空抽到某个压力之后,压力不在下降

判断方法:
需分几个方面一一进行排查,(1)首先排除仪器是处于样品脱气过程中再做后续检查,检查仪器是否漏气(2),在确定仪器不漏气之后(3)检查抽气速度是否变慢,(4)传感器零点是否漂移。
解决方法:
根据检查结果作出相应处理