static-faq

静态常见问题

纯化气路无法完成,卡在某阶段段无法进行

判断方法:
打开软件视图下的事件视窗口,查看当前动作(1)若是处于抽真空阶段,考虑漏气或者真空泵未打开等;(2)若是处于第一阶段氦气进气阶段,考虑氦气气源问题,进气压力设定较低后者进气减压表未打开,气体消耗完;(3)若是处于第四阶段氮气进气阶段,考虑氮气气源问题,进气压力设定较低后者进气减压表未打开,气体消耗完。
解决方法:
根据检查结果作出相应处理